Dgħajjes tal-evaporazzjoni jisbqu fil-fran tal-vakwu

Dgħajsa tal-evaporazzjoni hija forn tal-vakwu biex jinkisbu l-komponenti tal-qalba tal-kisi tal-evaporazzjoni tal-materjal, il-funzjoni tagħha hija li ġġorr l-evaporazzjoni tal-materjali u tagħmilha vaporizzata bit-tisħin, depożitata f'ambjent tal-vakwu biex tifforma film irqiq. Dawn li ġejjin mix-xena tal-applikazzjoni, proprjetajiet materjali, punti tekniċi u applikazzjonijiet tal-industrija u aspetti oħra tal-analiżi dettaljata tad-dgħajsa tal-evaporazzjoni fl-applikazzjonijiet tal-forn tal-vakwu:

Xena tal-Applikazzjoni Ewlenija

1. Depożizzjoni ta 'film irqiq u preparazzjoni tal-kisi forn tal-vakwu permezz tad-dgħajsa tal-evaporazzjoni li ssaħħan materjali evaporati (metalli, ligi, komposti, eċċ.), B'tali mod li jkun f'ambjent ta' pressjoni baxxa, vaporizzazzjoni u deposizzjoni tal-wiċċ tas-substrat, il-formazzjoni ta 'films irqaq funzjonali, inkluża: film konduttiv \/ iżolanti: elettrodi tal-metall (AL, CU, AU (Sio₂, sinₓ), użat fil-manifattura taċ-ċippa, bordijiet taċ-ċirkwiti, apparat MEMS. Films ottiċi: Films tat-Titjib tat-Trasmittenza (MGF₂), Films Reflective (AG, AL), Film Films (films dielettriċi b'ħafna saffi), użati fil-lentijiet ottiċi, kameras tat-telefon ċellulari, wirjiet. Kisi funzjonali: kisi reżistenti għall-ilbies (landa, CRN), films li jissaturaw bis-sħana (ligi tal-metall), films reżistenti għall-korrużjoni (PTFE), użati fil-ħġieġ tal-karozzi, għodod tal-qtugħ, komponenti tal-ajruspazju.

2. Purifikazzjoni tal-materjal u modifika ta 'separazzjoni ta' materjal ta 'purità għolja: L-użu ta' sustanzi differenti bi pressjoni differenti tal-fwar, permezz tat-tisħin tad-dgħajsa tal-evaporazzjoni biex tinkiseb il-purifikazzjoni ta 'elementi tad-dinja rari (bħal ND, DY), metalli prezzjużi (Au, PT). Trattament tad-doping tal-wiċċ: evaporazzjoni ta 'dopanti (bħal B, N) fuq il-wiċċ ta' wejfers semikondutturi jew elettrodi tal-batterija, biex itejbu l-proprjetajiet elettriċi jew ottiċi tal-materjali.

It-tieni, il-punti tekniċi u r-rekwiżiti tad-disinn

1. Il-kontroll tat-temperatura u l-uniformità tad-dgħajsa tal-evaporazzjoni permezz ta 'tisħin tar-reżistenza jew tisħin tal-bombardament tar-raġġ tal-elettroni, jeħtieġ li tissettja t-temperatura skont il-pressjoni tal-fwar materjali (bħal temperatura tal-evaporazzjoni AL ta' madwar 1200 grad, AU madwar 1400 grad).

Disinn tal-ġisem tad-dgħajsa (bħall-fond tal-kanal, l-angolu tal-inklinazzjoni) biex jiżgura li l-evaporazzjoni tal-materjal tissaħħan b'mod uniformi, biex tevita sħana żejda lokali kkawżata minn tixrid jew volatilizzazzjoni tal-impurità.

2. L-ambjent tal-vakwu li jaqbel bil-vakwu (ġeneralment {{1} ³ ³ ~ 10- ⁶ pa) jista 'jnaqqas il-punt tat-togħlija tal-materjal, itejjeb ir-rata ta' evaporazzjoni, filwaqt li jevita l-ossidazzjoni. Il-materjali tad-dgħajsa tal-evaporazzjoni jeħtieġ li jkunu stabbli taħt vakwu għoli, bħalma huma d-dgħajsa tal-grafita jeħtieġ li tevita ossidazzjoni ta 'temperatura għolja (jeħtieġ li timtela b'gass inert bħal AR).

3 L-evaporazzjoni tad-dgħajsa tan-nitrurat tal-boron ippreferuta tan-nitrurat, biex tevita l-ġisem tad-dgħajsa tal-metall u r-reazzjoni tal-element N biex tiġġenera impuritajiet.

4 Applikazzjonijiet tipiċi tal-industrija

1. Manifattura ta 'ċippa semikondutturi u mikroelettroniċi: evaporazzjoni ta' AL, preparazzjoni Cu ta 'elettrodi taċ-ċirkwiti integrati, bl-użu ta' dgħajsa tal-molibdenu jew dgħajsa tat-tungstenu; Id-deposizzjoni ta 'saff ta' insulazzjoni Sio₂ tista 'tkun dgħajsa tal-grafita jew dgħajsa tan-nitruri tal-boron (biex tevita kontaminazzjoni tal-metall). Apparat ta 'l-enerġija: L-użu ta' Boron Nitride Boat Evaporation Gan, Aln, il-preparazzjoni ta 'saff epitassjali ta' mobilità ta 'elettroni għolja (HEMT), biex tevita l-introduzzjoni ta' impuritajiet fil-ġisem tad-dgħajsa tal-metall.

2. Komponenti ottiċi ta 'preċiżjoni tal-ottika u tat-teknoloġija tal-wiri: Evaporazzjoni tad-dgħajsa tat-tungstenu AG, preparazzjoni AL tal-mirja, evaporazzjoni tad-dgħajsa tal-grafita MGF₂, SIO₂ Preparazzjoni tal-film tat-titjib tat-trasmittanza, biex tiżgura uniformità tal-film u rata baxxa ta' difett.

OLED u MINI LED: Boron Nitride Boat Evaporation ta 'materjali organiċi li jarmu d-dawl (bħal kumpless IR) jew tikek kwantistiċi, biex jevitaw il-materjali tal-ġisem tad-dgħajsa u molekuli organiċi reattivi, biex itejbu l-ħajja tal-apparat.

3 Fil-batterija tal-chalcogenide, l-evaporazzjoni tal-jodju taċ-ċomb formamidine tad-dgħajsa tal-boron (FAPBI₃), biex tevita kontaminazzjoni mill-fwar tal-ilma u l-impuritajiet.

4. Batteriji tal-jone tal-litju: Evaporazzjoni tad-dgħajsa tantalu li Preparazzjoni tal-Metall ta 'elettrodi tal-batterija fi stat solidu, l-użu tar-reżistenza għall-korrużjoni tal-litju tiegħu; L-evaporazzjoni ta 'l-elementi B, N doped anodu bbażat fuq is-silikon modifikat, biex itejjeb il-prestazzjoni taċ-ċikliżmu.

5. Tagħmir high-end u kisi tal-għodda aerospazjali: Evaporazzjoni tad-dgħajsa tat-tungstenu TI, Preparazzjoni CR landa, kisi iebes CRN, ittejjeb ir-reżistenza għall-ilbies tal-għodda; Evaporazzjoni tad-dgħajsa tan-nitrurat tal-boron ta 'prekursur tad-djamanti, il-preparazzjoni tal-film DLC użat fil-bearings tal-avjazzjoni.

Trattament ta 'liga ta' temperatura għolja: evaporazzjoni ta 'al, y u elementi oħra minn dgħajsa tal-molibdenu fil-forn tal-vakwu biex tifforma kisjiet anti-ossidanti (bħal kisi ta' l-alumina) għal xfafar tal-magna aero.

Shengyang New Material Co., Ltd. hija impenjata għall-produzzjoni ta 'prodotti pproċessati tan-nitrurat tal-boron u tal-boron, u tista' tippersonalizza diversi partijiet taċ-ċeramika li jiżolaw nitrużi tal-boron skont il-bżonnijiet tal-klijent. Ikkuntattjana jekk meħtieġ.
Tel: +8618560961205
Email: sales@zbsyxc.com